韓國公司Chemtronics宣布,將投資高達(dá)170億韓元,以擴(kuò)大在韓國的EUV光刻膠化學(xué)材料生產(chǎn)。此舉旨在應(yīng)對日本對該類產(chǎn)品的出口限制,并滿足韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對EUV光刻膠不斷增長的需求。與此同時,另一家韓國半導(dǎo)體化學(xué)材料商Dongjin Semichem也宣布,計劃開發(fā)新一代高NA光刻膠,以適應(yīng)未來ASML EUV光刻機(jī)數(shù)量增長的需求。這種新型光刻膠將主要用于制造更先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備。此外,據(jù)報道,韓國SK集團(tuán)于2020年斥資400億韓元收購當(dāng)?shù)劐\湖石化的電子材料業(yè)務(wù),收購后成立的新子公司SK Materials Performance(SKMP)已開發(fā)出一種高厚度KrF光刻膠,并通過了SK海力士的性能驗證,這將有利于SK海力士3D NAND閃存的技術(shù)開發(fā)。
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